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SuperViewW光學表面三維形貌輪廓測量儀以白光干涉技術原理，用于對各種精密器件表面進行納米級測量。通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器SJ5800廣東表面粗糙度輪廓儀是一款能實現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析的檢測儀器。可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz等）、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測量。如分別對發(fā)動機關鍵零部件節(jié)溫器內(nèi)筒、氣門搖臂及凸輪軸進行高精度輪廓參數(shù)檢測。

中圖光學3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

中圖儀器SJ5800表面粗糙度輪廓形狀測量儀采用超高精度納米衍射光學測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量。

SJ5800輪廓粗糙度一體測量儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊.可以對零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進行檢測，是大曲面測量（軸承、人工關節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領域精細粗糙度測量的利器。

粗糙度輪廓儀中圖儀器SJ5800系列采用超高精度納米衍射光學測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，可以對零件表面，對于復雜的工件，對工件任意位置進行分段測量，并做成模板便于輪廓批量測量。