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中圖儀器SuperViewW1中圖3d輪廓測量儀光學成像具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

中圖儀器SuperViewW1三維光學輪廓測量儀以白光干涉技術為原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等.

中圖儀器SuperViewW系列3D光學檢測儀器基于白光干涉原理，能以3D非接觸方式，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

中圖儀器SJ5800系列接觸式粗糙度輪廓儀采用超高精度納米衍射光學測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量。

SJ5800接觸式表面輪廓測量儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz等）、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測量。

SuperViewW3d表面光學輪廓檢測儀以白光干涉技術為原理，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。它集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。